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三氟化氮 |
| CAS No.: |
7783-54-2 |
| 分子式： |
F3N |
| 分子量： |
71.00 |
| 備注： |
中文名稱三氟化氮中文同義詞三氟化氮;氟化氮英文名稱Nitrogentrifluoride英文同義詞N,N,N-Trifluoroamine;NF3;Nitrogenfluoride(NF3);nitrogenfluoride(nf3);Perfluoroammonia;Stickstoff(III)-fluorid;Stickstofftrifluorid;TrifluoroamineCAS號(hào)7783-54-2分子式F3N分子量71EINECS號(hào)232-007-1相關(guān)類別特殊氣體(SpecialtyGases);電子化學(xué)品;同位素氣體;DWS電子氣體;電子氣體;Inorganics;InorganicFluoridesMol文件7783-54-2.mol結(jié)構(gòu)式三氟化氮性質(zhì)熔點(diǎn)-207°C沸點(diǎn)-129°C密度(liqatbp)1.885溶解度不溶于水酸度系數(shù)(pKa)-24.82±0.70(Predicted)形態(tài)無色氣體顏色無色氣味(Odor)特有的發(fā)霉氣味水溶解性insolubleCAS數(shù)據(jù)庫7783-54-2(CASDataBaseReference)NIST化學(xué)物質(zhì)信息Nitrogentrifluoride(7783-54-2)EPA化學(xué)物質(zhì)信息Nitrogentrifluoride(7783-54-2)三氟化氮用途與合成方法理化性質(zhì)三氟化氮化學(xué)式NF3。無色、無臭、性質(zhì)穩(wěn)定的液化氣體，不溶于水和堿，化學(xué)上較惰性，但赤熱時(shí)與金屬、非金屬作用，與油和脂肪發(fā)生反應(yīng)，與氫氣激烈作用。高純?nèi)獛缀鯖]有氣味,它是一種熱力學(xué)穩(wěn)定的氧化劑,大約在350℃左右可分解成為二氟化氮和氟氣,故其反應(yīng)性質(zhì)類似于氟。三氟化氮用作氧化劑時(shí),在發(fā)生反應(yīng)的同時(shí),可作為二氟化氮游離基的供給源。比較常見的包裝有兩種20KG/44L鋼瓶和8~14噸裝的ISO管束槽。毒性大，與氟化物和氫氟酸類似。急性毒性：大鼠吸入LC50176ppm(lh)。美國(guó)規(guī)定作業(yè)環(huán)境空氣中最高容許濃度為10ppm(30mg/m3)。背景我國(guó)的三氟化氮的研究是從上世紀(jì)80年代開始的，主要單位是中國(guó)船舶重工集團(tuán)718研究所。三氟化氮產(chǎn)業(yè)發(fā)展大體上分三個(gè)階段，最早是用于國(guó)防工Chemicalbook業(yè)，主要是少量生產(chǎn)自用；其次是上世紀(jì)末隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，三氟化氮產(chǎn)業(yè)化的研究迅猛發(fā)展，電子工業(yè)用三氟化氮相繼問世；第三個(gè)階段是近年在電子工業(yè)迅猛發(fā)展的推動(dòng)下。國(guó)內(nèi)三氟化氮的生產(chǎn)線相繼投產(chǎn)，其制造水平已與國(guó)外發(fā)達(dá)國(guó)家水平相當(dāng)。由于電子工業(yè)用氣體的特點(diǎn)是市場(chǎng)需求急迫，發(fā)展速度很快，技術(shù)難度較大，面對(duì)國(guó)際上三氟化氮產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，與之相比國(guó)內(nèi)三氟化氮生產(chǎn)企業(yè)相對(duì)比較弱小。用途三氟化氮（NF3）主要用途是用作氟化氫－氟化氣高能化學(xué)激光器的氟源，在h2-O2與F2之間反應(yīng)能的有效部分（約25%）可以以激光輻射釋放出，所HF-OF激光器是化學(xué)激光器中最有希望的激光器。三氟化氮是微電子工業(yè)中一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，對(duì)硅和氮化硅蝕刻，采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳與氧氣的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性，而且對(duì)表面無污染，尤其是在厚度小于1.5um的集成電路材料的蝕刻中，三氟化氮具有非常優(yōu)異的蝕刻速率和選擇性，在被蝕刻物表面不留任何殘留物，同時(shí)也是非常良好的清洗劑。應(yīng)用IC方面：由于作為半導(dǎo)體工業(yè)中氣體清洗劑的全氟烴(PFC)對(duì)環(huán)境有害,近年來有逐漸被三氟化氮(NF3)取代之勢(shì)。使用NF3作為化學(xué)蒸氣沉積(CVD)箱清洗劑,與全氟烴相比,可減少污染物排放量約90%,且可顯著提高清洗速度,從而可提高清洗設(shè)備能力約30%。LCD方面：NF3還可用作蝕刻劑,也用于液晶顯示器(LCD)的加工。太陽能電池：NF3作為蝕刻和清洗氣體也在太陽能電池制造行業(yè)廣泛應(yīng)用。生產(chǎn)方法目前三氟化氮工業(yè)化生產(chǎn)主要有兩條路線,一是合成法:將氟化氫銨在鎳制反應(yīng)器中加熱,氟氣、氮?dú)夂桶蓖ㄟ^分布器進(jìn)入反應(yīng)器直接氟化反應(yīng)。二是電解法:在一定溫度下,電解熔融的氟化氫銨,電解過程中陽極產(chǎn)生三氟化氮,陰極產(chǎn)生氫氣。我國(guó)三氟化氮生產(chǎn)廠家的生產(chǎn)方法為上述兩種方法。類別有害氣體毒性分級(jí)中毒急性毒性吸入-大鼠LC50:6700PPM/1小時(shí);吸入-小鼠LC50:2000PPM/4小時(shí)可燃性危險(xiǎn)特性遇氫氣、油脂助燃;受熱分解有毒氟化物和氮氧化物氣體儲(chǔ)運(yùn)特性庫房通風(fēng)低溫干燥;輕裝輕卸;與氫氣、還原劑、油脂分開存放滅火劑霧狀水、泡沫職業(yè)標(biāo)準(zhǔn)TWA29毫克/立方米;STEL29毫克/立方米 |
| 結(jié)構(gòu)式： |
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聯(lián)系人： |
金經(jīng)理 |
地 址： |
湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)光谷大道03號(hào) |
郵 編： |
430000 |
電 話： |
18995560451 |
手 機(jī)： |
15102708508 |
傳 真： |
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Q Q： |
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